i-line光刻機項目已具備招標條件。招標項目資金已落實。中科信工程咨詢（北京） （招標代理機構）受中國航空工業集團公司西安飛行自動控制研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。
1. 招標范圍
1.1 貨物名稱：i-line光刻機
1.2 招標編號：招標編號：0779-25400341A052
1.3 項目概況：
i-line光刻機用于量子傳感、硅光等芯片微結構制造過程中的對準曝光工藝。利用光化學反應原理把事先制備在掩模版上的圖形轉印到晶圓表面涂覆的光刻膠上，再使用選擇性的刻蝕再轉印到襯底（晶圓）上，并最終形成傳感芯片所需的三維結構。i-line光刻機由i-line光刻機、光刻機隔震臺組件等組成。更多指標詳見第八章技術規格。
主要技術指標：
適用于6英寸和8英寸晶圓；
設備傳片方式：機械手全自動傳片；
最小分辨率≤1um；
支持全自動對準，且具備正面/背面和紅外對準功能；
對準精度:正對準≤0.5um；背對準≤1um；紅外對準精度≤1.5um；
更多技術指標詳見第八章。
1.4 數量：1套。
1.5 交貨期：合同簽訂生效后10個月內交貨。
1.6 項目現場：中國航空工業集團公司西安飛行自動控制研究所指定地點。。
2. 對投標人的資格要求
2.1 投標人必須是響應招標的法人或其他組織，具有獨立承擔民事責任能力。
2.2本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權，提供制造商授權書。授權書包括制造商直接開具的；或制造商的獨資公司開具的（同時須提供制造商與獨資子公司的關系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。
2.3本項目不接受聯合體投標。
2.4投標人必須向招標代理機構
3. 招標文件獲取
3.1 如有疑問，請致電中航工業 服務熱線400-890-0880。
3.2 招標文件售價人民幣800元或112美元，售后款項不予退還。潛在投標人應通過本鏈接:jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招標文件費用，支付后請自行提交電子發票申請(需再次進入鏈接點擊消費記錄后填寫開票信息)，電子發票將自動發 潛在投標人將付款憑證（形式不限）和發票上傳交易平臺，經招標人(代理機構)確認后，才能獲得招標文件的下載權限。
3.3 投標人必須在中航工業 注冊，辦理CA數字證書與電子簽章，否則無法投標。（詳見中航工業 相關說明）。
4.
未在中國電力招標采購網（www.dlztb.com）上注冊會員的單位應先點擊注冊。登錄成功后的在招標會員區根據招標公告的相應說明獲取招標文件！
咨詢電話：010-51957458
手 機：18811547188
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郵箱：1211306049@qq.com
來源：中國電力招標采購網
備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網站并繳納因特網技術服務費后，查看項目業主，招標公告并下載資格預審范圍，資質要求，招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按會員區招標信息詳細內容為準，以招標業主的解答為準本。
編輯：365trade
